特許
J-GLOBAL ID：200903037578536570
電子線転写露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-239527
公開番号（公開出願番号）：特開平11-086766
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：
【要約】【課題】 露光に必要な電子線強度を維持しつつ、大きな照射幅が得られる電子線転写露光装置を提供する。【解決手段】 電子銃1から照射された電子線は、コンデンサレンズ2およびフィールドレンズ3を透過し、マスク4を照明する。マスク4を透過した電子線は、縮小投影レンズ5,6によりウェハ7上に結像されて照射され、マスク4のパターンがウェハ7に露光される。電子銃1は、電子放出面が、中央部が凹形状の電子放出面を有する電子源を備え、露光には、電子放出面の周縁部から照射されたリング状の電子線を利用する。
請求項（抜粋）：
電子銃と、前記電子銃から照射されマスクを透過した電子線をウェハに縮小投影するための投影レンズとを有する電子線転写露光装置において、前記電子銃は電子源を有し、該電子源の電子放出面は、中央部が凹形状となっていることを特徴とする電子線転写露光装置。
IPC (4件)：
H01J 37/065
, G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
H01J 37/065
, G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 541 B
