特許
J-GLOBAL ID:200903037589054837
ガスセンサの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
西川 惠清
, 森 厚夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-220301
公開番号(公開出願番号):特開2009-053054
出願日: 2007年08月27日
公開日(公表日): 2009年03月12日
要約:
【課題】高度な設備を必要とすることなく、速い製膜速度で、剥離等の問題なく、有機無機ハイブリッド材料の薄膜を容易に形成することができるガスセンサの製造方法を提供する。【解決手段】層状構造を有する無機化合物の層間に有機物を挿入した有機無機ハイブリッド材料を用いて形成されるガスセンサの製造方法に関する。層状無機化合物と有機物とを含有する液体に電極を浸漬して電界を加えることによって、電極の表面に層状無機化合物と有機物を交互に積層させて有機無機ハイブリッド材料を形成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
層状構造を有する無機化合物の層間に有機物を挿入した有機無機ハイブリッド材料を用いて形成されるガスセンサの製造方法であって、層状無機化合物と有機物とを含有する液体に電極に浸漬して電界を加えることによって、電極の表面に層状無機化合物と有機物を交互に積層させて有機無機ハイブリッド材料を形成することを特徴とするガスセンサの製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (10件):
2G046AA25
, 2G046BA01
, 2G046BA09
, 2G046BB02
, 2G046FA01
, 2G046FB02
, 2G046FC01
, 2G046FE22
, 2G046FE38
, 2G046FE44
引用特許: