特許
J-GLOBAL ID：200903037591507849

ウエーハ洗浄装置における排水分別回収装置

発明者：
青木 正治

青木 正治 について


出願人/特許権者：
信越半導体株式会社

信越半導体株式会社 について


代理人 (1件)： 高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-130343
公開番号（公開出願番号）：特開平11-330034
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：
【要約】【課題】 毎葉式の一槽式ウエーハ洗浄装置において、薬液排液はもとより、リンス排水を濁リンス排水とクリーンリンス排水に分別して回収することを可能にしたウエーハ洗浄装置における排水分別回収装置を提供すること。【解決手段】 処理槽1に接続された薬液排水ライン15、16とリンス排水ライン17の各々に薬液/リンス選択用分配自動弁10、11、12を設け、リンス排水ライン17の分配自動弁12の後部にはリンス排水の濃度を検出する濃度計センサ18を設け、該濃度計センサ18の後部には濁リンス排水ライン17aとクリーンリンス排水ライン17bとを分岐して設けて各々の排水ライン17a,17bに濁/クリーンリンス分配自動弁13,14を設け、濃度計センサ18の検出信号に基づいて濁リンス排水ライン17aの分配自動弁13またはクリーンリンス排水ライン17bの分配自動弁14を開放して濁リンス排水またはクリーンリンス排水を分別して行なう。
請求項（抜粋）：
1つの処理槽内で薬液とリンス工程を選択的に行ないながらウエーハを洗浄する一槽式ウエーハ洗浄装置における洗浄後の排水を分別して回収する排水分別回収装置において、前記処理槽に接続された共通排水ラインから薬液排水ラインとリンス排水ラインを分岐させ、該薬液排水ラインとリンス排水ラインの各々に薬液/リンス選択用分配自動弁を設け、前記リンス排水ラインの分配自動弁の後部にはリンス排水の濃度を検出する濃度計センサを設けるとともに、該濃度計センサの後部排水ラインに濁/クリーンリンス分配自動弁を介して濁リンス排水ラインとクリーンリンス排水ラインとを分岐して設け、前記濃度計センサの検出信号に基づいて前記濁/クリーンリンス分配自動弁を選択的に作動させ、濁リンス排水またはクリーンリンス排水を分別して排水することを特徴とするウエーハ洗浄装置における排水分別回収装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 648 ,  H01L 21/304 642 ,  C02F 1/00
FI (3件)：
H01L 21/304 648 F ,  H01L 21/304 642 A ,  C02F 1/00 J
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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