特許
J-GLOBAL ID：200903037615088931
カラー固体撮像素子とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-317549
公開番号（公開出願番号）：特開平11-150252
出願日： 1997年11月19日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】【課題】 現像残渣の増加、感度ムラの増加を伴うことなく、カラーフィルタの下地との接着性を高めて剥がれ、めくれによる欠陥不良をなくす。【解決手段】 撮像領域に占める面積の総和の割合の最も多い色のカラーフィルタ層6Gを最も下層(第1層目)のカラーフィルタ層として形成し、この第1層目のカラーフィルタ層に対して第2層目以上の各層のカラーフィルタ層6R、6Bの端部を第1層目のカラーフィルタ層の端部にオーバーラップさせる。
請求項（抜粋）：
色の異なる複数のカラーフィルタ層を素子表面に形成したカラー固体撮像素子において、撮像領域に占める面積総和の割合の最も多い色の画素のカラーフィルタ層を最も下層のカラーフィルタ層として形成してなることを特徴とするカラー固体撮像素子。
IPC (3件)：
H01L 27/14
, G02B 5/20 101
, H04N 9/07
H01L 27/14 D
, G02B 5/20 101
, H04N 9/07 D
