カラーフィルターの製造方法と、撮像装置の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松隈秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-209223
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052122
出願日： 1997年08月04日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】カラーフォトレジストの現像液の残渣を低減させ、デバイスの歩留りの向上および撮像装置の画質の向上を図る。【解決手段】カラーフォトレジストの塗布面をO2 ガスによるアッシング処理を行った後に、顔料系カラーフォトレジストを塗布する。

請求項（抜粋）：

カラーフォトレジストの塗布面をO2 ガスによるアッシング処理を行う工程と、顔料系カラーフォトレジストを塗布する工程とを、順次行うことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

FI (2件)：

G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

引用特許：

審査官引用 (4件)

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