特許
J-GLOBAL ID:200903037656153500

研磨装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 綿貫 隆夫 ,  堀米 和春
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-028506
公開番号(公開出願番号):特開2006-212740
出願日: 2005年02月04日
公開日(公表日): 2006年08月17日
要約:
【課題】カラーの交換が簡単にできる研磨装置を提供する。【解決手段】ワークを保持するキャリアの外歯が、外側ピン歯車の内歯と内側ピン歯車の外歯にそれぞれ係合することにより、キャリアが自転及び公転されて、ワークを上定盤と下定盤で研磨する研磨装置であって、外側ピン歯車の内歯と内側ピン歯車の外歯の少なくとも一方が、ピンリング11b、12bに上方に突出して固定されたピン体22と、下方に開放する有底円筒状をなし、ピン体22との間に嵌合部25を設けてピン体22に回転可能に外嵌されるカラー23とを有し、ピンリング11b、12bに周方向に一定間隔をおいて設けられた複数個の歯部20、30からなることを特徴とする。【選択図】図2
請求項(抜粋):
ワークを保持するキャリアの外歯が、外側ピン歯車の内歯と内側ピン歯車の外歯にそれぞれ係合することにより、該キャリアが自転及び公転されて、前記ワークを上定盤と下定盤で研磨する研磨装置であって、 外側ピン歯車の内歯と内側ピン歯車の外歯の少なくとも一方が、ピンリングに上方に突出して固定されたピン体と、下方に開放する有底円筒状をなし、ピン体との間に嵌合部を設けて該ピン体に回転可能に外嵌されるカラーとを有し、ピンリングに周方向に一定間隔をおいて設けられた複数個の歯部からなることを特徴とする研磨装置。
IPC (1件):
B24B 37/04
FI (1件):
B24B37/04 F
Fターム (10件):
3C058AA07 ,  3C058AA15 ,  3C058AA16 ,  3C058AB01 ,  3C058AB08 ,  3C058CB04 ,  3C058CB06 ,  3C058DA06 ,  3C058DA09 ,  3C058DA17
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 研磨装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-070907   出願人:スピードファム株式会社
  • 特開平1-252356
審査官引用 (1件)
  • 特開平1-252356

前のページに戻る