特許

J-GLOBAL ID：200903037674366120

被研磨物保持材

発明者： 高橋 克治 ,  平岡 宏一
出願人/特許権者： 新神戸電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-276563
公開番号（公開出願番号）：特開2004-114165
出願日： 2002年09月24日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】被研磨物の研磨作業において、その研磨される表面と共に周囲端面のスクラッチ発生も抑えることができる被研磨物保持材を提供する。【解決手段】被研磨物を嵌め込んで保持するための貫通穴を配置した被研磨物保持材であって、メタ系アラミド繊維を主成分とする繊維集積体を加熱圧縮した板状体から実質的になっている。繊維同士は熱融着により固定されている。メタ系アラミドを主成分とし、パラ系アラミド繊維を含んでも良い。貫通穴の壁面には、実質的にメタ系アラミド繊維を主成分とする繊維が露出しており、これがクッション材となってスクラッチ発生を抑えている。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

被研磨物を嵌め込んで保持するための貫通穴を配置した被研磨物保持材であって、 前記保持材は、メタ系アラミド繊維を主成分とする繊維集積体を加熱圧縮した板状体から実質的になっており、繊維同士が熱融着により固定されていることを特徴とする被研磨物保持材。

IPC (4件)：

B24B37/04 ,  B24B41/06 ,  B29C43/02 ,  H01L21/304

FI (4件)：

B24B37/04 C ,  B24B41/06 L ,  B29C43/02 ,  H01L21/304 622G

Fターム (18件)：

3C034BB73 ,  3C058AA07 ,  3C058AB09 ,  3C058CA07 ,  3C058CB02 ,  3C058DA06 ,  3C058DA17 ,  4F204AA30 ,  4F204AC01 ,  4F204AG02 ,  4F204AG21 ,  4F204AH33 ,  4F204FA15 ,  4F204FB01 ,  4F204FF01 ,  4F204FG01 ,  4F204FQ16 ,  4F204FQ17

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 両面一次ポリッシュ用ウェハキャリア
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-013943   出願人：日立電線株式会社
• 被研磨物保持材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-333879   出願人：新神戸電機株式会社