被研磨物保持材

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-333879
公開番号（公開出願番号）：特開2000-158336
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】被研磨物にスクラッチが付かない被研磨物保持材を提供する。被研磨物保持材の使用寿命も長くする。【解決手段】熱硬化性樹脂を含浸したシート状繊維基材の層を加熱加圧成形して被研磨物保持材とする。その中間層を構成するシート状繊維基材をアラミド繊維基材とし、表面層を構成するシート状繊維基材をポリエステル繊維基材とする。

請求項（抜粋）：

熱硬化性樹脂を含浸したシート状繊維基材の層を加熱加圧成形してなり、中間層を構成するシート状繊維基材がアラミド繊維基材であり、表面層を構成するシート状繊維基材がポリエステル繊維基材であることを特徴とする被研磨物保持材。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , B24B 41/06

FI (2件)：

B24B 37/04 J , B24B 41/06 L

Fターム (6件)：

3C034AA07 , 3C034BB71 , 3C058AA09 , 3C058AB04 , 3C058CB02 , 3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (4件)

繊維強化プラスチック製キャリアプレート
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-050756 出願人：三菱レイヨン株式会社, 東芝セラミックス株式会社
平面研磨装置用キャリヤ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-119116 出願人：スピードファム株式会社
特開平1-092065

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