特許

J-GLOBAL ID：200903037674814743

ペリクル

発明者： 川口 栄 ,  浜田 裕一 ,  白崎 享 ,  永田 愛彦 ,  樫田 周 ,  久保田 芳宏
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-242053
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072617
出願日： 1993年09月02日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はペリクル収納容器中での保管、輸送、移動時にもペリクル枠からの発塵で異物の付着しないようにした発塵防止されたペリクルの提供を目的とするものである。【構成】 本発明による発塵防止されたペリクルは、ペリクル枠の全面をその表面をメッキ処理などで平滑になるように処理して、ペリクル表面からの発塵を防止するようにしてなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

ペリクル枠の全面を表面が平滑になるように処理して、ペリクル枠表面からの発塵を防止してなることを特徴とするペリクル。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-291347
  
• 特開平4-254856
  
• 特開平1-275733
  
• ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-109952   出願人：信越化学工業株式会社