特許

J-GLOBAL ID：200903037693839331

四塩化ケイ素の熱水素化を用いたトリクロロシランの製造方法

発明者： ヌリア ガルシア-アロンソ ,  クリストフ リューディンガー ,  ハンス-ユルゲン エーベルレ
出願人/特許権者： ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (8件)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  杉本 博司 ,  星 公弘 ,  二宮 浩康 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-553509
公開番号（公開出願番号）：特表2008-528433
出願日： 2006年01月26日
公開日（公表日）： 2008年07月31日
要約：

本発明は、四塩化ケイ素含有出発材料ガス及び水素含有出発材料ガスを700°C〜1500°Cの温度で反応させ、トリクロロシラン含有生成物混合物を生ずる方法において、前記生成物混合物が熱交換器を用いて冷却され、その際前記生成物混合物が熱交換器中でのこの反応ガスの滞留時間τ[ms]の間温度TAbkuehlungに冷却され、その際(方程式1)[式中、A=4000、6≦B≦50、及び100°C≦TAbkuehlung≦900°C]が当てはまり、かつ熱交換器を介して排出される前記生成物ガスのエネルギーが、出発材料ガスの加熱のために利用されることを特徴とする、トリクロロシラン含有生成物混合物を生ずる方法に関する。

請求項（抜粋）：

四塩化ケイ素含有出発材料ガス及び水素含有出発材料ガスを700°C〜1500°Cの温度で反応させ、トリクロロシラン含有生成物混合物を生ずる方法において、前記生成物混合物が熱交換器を用いて冷却され、その際前記生成物混合物が熱交換器中でのこの反応ガスの滞留時間τ[ms]の間に温度TAbkuehlungに冷却され、その際

IPC (1件)：

C01B 33/107

FI (1件)：

C01B33/107 Z

Fターム (8件)：

4G072AA14 ,  4G072BB20 ,  4G072GG02 ,  4G072HH08 ,  4G072JJ01 ,  4G072MM01 ,  4G072RR04 ,  4G072RR11

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭57-012826
  
• 特開昭60-081010
  
• テトラクロロシランの水素添加法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-011163   出願人：ヘムロック・セミコンダクター・コーポレーション

審査官引用 (4件)

• 特開昭57-012826
  
• 特開昭57-012826
  
• 特開昭60-081010
  
• テトラクロロシランの水素添加法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-011163   出願人：ヘムロック・セミコンダクター・コーポレーション