テトラクロロシランの水素添加法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：ウオーレン・ジー・シミオール
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-011163
公開番号（公開出願番号）：特開平7-232910
出願日： 1995年01月27日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【目的】水素ガスとテトラクロロシランとを反応させる実質的に密閉の内室を形成する反応容器を内部に配置した加圧可能シエルからなる反応器における水素ガスとテトラクロロシランとを接触させる方法の提供。【構成】本法は、加圧可能シエルと反応容器間の外室に塩素/ケイ素のモル比が3.5以上のガス又はガス混合体を供給することからなる。この方法は、実質的に密閉の内室からこれらのガスの漏れから生じる水素とテトラクロロシランの濃度を下げて、かかる漏れに伴う反応器の構成要素および性能に与える有害な反応を最小限におさえる。

請求項（抜粋）：

内部に水素ガスとテトラクロロシランとを接触させる実質的に密閉の内室を形成する反応容器を配置した加圧可能シエルからなる反応器内において水素ガスとテトラクロロシランとを600°C以上の温度で接触させることからなり、外室が前記加圧可能シエルと反応容器間に配置され、該外室が内部におよび加圧可能シエルに隣接して炭素または黒鉛の絶縁層を設け、該絶縁層と反応容器間に1つ以上の加熱体を配置し、前記外室に塩素/ケイ素のモル比が3.5以上のガスまたはガス混合体を供給することを特徴とするテトラクロロシランの水素添加法。

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開昭62-123011
特開昭48-095396
特開昭57-012826

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審査官引用 (1件)

特開昭62-123011

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