特許
J-GLOBAL ID:200903037696002378

2次元絶対位置検出装置及び2次元絶対位置検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊丹 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-136644
公開番号(公開出願番号):特開2004-333498
出願日: 2004年04月30日
公開日(公表日): 2004年11月25日
要約:
【課題】 相対的に小さい読取ヘッドサイズを有する2次元光学式絶対位置エンコーダを提供する。【解決手段】 2次元統合絶対スケール400は、スケールの各測定軸111,112に沿って2次元スケール領域にわたって延在する統合2次元絶対スケールパターンを含む。統合2次元絶対スケールパターンは、各軸111,112に沿って複数のコード部430と共に繰り返し交互配置された所定の準ランダムパターン412を含む。各コード部430は、絶対測定値を指示する複数のコード要素432を含む。装置の読取ヘッドに対する準ランダムパターンのオフセットは、相対的に大きい2次元範囲にわたり絶対位置を極めて高分解能まで決定するために絶対測定値と結合される。【選択図】 図8
請求項(抜粋):
第2の部材に対する第1の部材の位置を第1および第2の測定軸に沿って測定するために使用可能な2次元絶対位置検出装置であって、 前記2次元絶対位置検出装置は、読取ヘッドおよびスケールを含み、 前記スケールは、前記第1および第2の測定軸に沿って延在する2次元統合スケールパターンを含み、 前記2次元統合スケールパターンは、複数の準ランダムパターン部および複数のコード部を含み、 各準ランダムパターン部は、前記第1および第2の測定軸に沿って延在し、 前記複数のコード部は、第1の方向に沿って所定寸法だけ離間され、かつ第2の方向に沿って所定寸法だけ離間され、かつ前記2次元統合スケールパターン内に分布されており、 各コード部は、少なくとも1つのコードワードを定義する複数のコード要素を含み、 前記少なくとも1つのコードワードは、前記第1および第2の測定軸の各々に沿って局所基準の測定値を識別するために使用可能であり、 前記読取ヘッドに含まれかつ前記第1および第2の方向の各々に沿って延在する検出窓が、少なくとも1つのコードワードを定義するのに十分な数のコード要素を含むように、前記複数の準ランダムパターン部および前記複数のコード部は構成されており、 前記定義された少なくとも1つのコードワードは、前記2次元統合スケールパターン内での前記検出窓の位置に関わらず、前記第1および第2の測定軸に沿って対応する局所基準の前記測定値を識別するために使用可能である、 ことを特徴とする2次元絶対位置検出装置。
IPC (2件):
G01B11/00 ,  G01D5/34
FI (2件):
G01B11/00 A ,  G01D5/34 D
Fターム (22件):
2F065AA03 ,  2F065BB15 ,  2F065DD03 ,  2F065FF19 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL30 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU05 ,  2F065UU07 ,  2F103BA37 ,  2F103CA03 ,  2F103DA04 ,  2F103EA02 ,  2F103EA11 ,  2F103EA19 ,  2F103EA20 ,  2F103EB16 ,  2F103EB32 ,  2F103FA00
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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