特許
J-GLOBAL ID：200903037739823010
走査型プローブ顕微鏡およびその操作法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-117395
公開番号（公開出願番号）：特開2004-163392
出願日： 2003年04月22日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
【課題】本発明の課題は、動的駆動のSPMにおいて変化する環境条件の中でもカンチレバーの共振付近でのQ値を最適にコントロールすることができるシステムを提供することにより、種々の物理量測定時の動作の安定性を向上させるとともに、測定感度の向上と測定値の再現性と定量性の向上をもたらすSPMを提供することにある。【解決手段】本発明の動的駆動のSPMは、カンチレバーの振動検出信号から速度を取り出す手段と、該信号を更にゲイン調整する可変増幅器と、該可変増幅器の出力信号を圧電手段等によりカンチレバーを強制振動させる通常の動的駆動方式における発振器の出力信号に重畳させる加算器とを備え、前記可変増幅器のゲインを調整することによりカンチレバーの共振値付近でのQを制御するものであって、環境変化に対して最適値にQを設定する機能を備えた。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
カンチレバーの振動検出信号から速度を取り出す手段と、該信号を更にゲイン調整する可変増幅器と、該可変増幅器の出力信号を圧電手段等によりカンチレバーを強制振動させる通常の動的駆動方式における発振器の出力信号に重畳させる加算器とを備え、前記可変増幅器のゲインを調整することによりカンチレバーの共振値付近でのQを制御するものであって、環境変化に対して最適値にQを設定する機能を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
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