原子間力顕微鏡用能動型探針及びその使用方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-608203
公開番号（公開出願番号）：特表2002-540436
出願日： 2000年03月03日
公開日（公表日）： 2002年11月26日
要約：

【要約】AMF(10)は、AFM用Z位置アクチュエーター(16)および自己駆動型Z位置カンチレバー(20)(双方とも周期的モードおよび接触モードで作動可能)を適当な入れ子式フィードバック制御回路と組み合わせて、高速な描画及び精密なZ位置測定を達成する。自己駆動型カンチレバー(20)は、その上に一体化されたZ位置決め要素と、カンチレバー(20)を共振周波数および設定値と等しい振動振幅で振動させる発振器とを有する。AFMは、第2のフィードバック回路内(14)に入れ子にされた第1のフィードバック回路(12)を備え、走査動作中に、自己駆動型カンチレバー(20)の垂直方向の偏位に応じて、第1のフィードバック回路はカンチレバー制御信号を生成し、第2のフィードバック回路(14)は、カンチレバー制御信号に応じて、位置制御信号を生成する。

請求項（抜粋）：

接触モードにおいて所定の走査速度で試料を分析するためのAFMであって、その上に配置されたZ-位置決め要素と、そこに取り付けられて、走査動作中に試料とほぼ連続的に接触する先端部とを有する自己駆動型カンチレバーと、前記自己駆動型カンチレバーの垂直方向の偏位に応じて、カンチレバー制御信号を生成する第1のフィードバック回路と、前記カンチレバー制御信号に応答して、位置制御信号を生成する第2のフィードバック回路と、前記第1のフィードバック回路は前記第2のフィードバック回路内に入れ子になっていることと、前記位置制御信号に応答して、自己駆動型カンチレバー及び試料のうちの一方の位置決めを行って、自己駆動型カンチレバーと試料との間隔を変更するZ位置アクチュエーターとを備えるAFM。

IPC (7件)：

G01N 13/16 , G01B 21/30 , G01N 13/10 , G05D 3/00 , G05D 3/12 304 , G12B 21/08 , G12B 21/20

FI (8件)：

G01N 13/16 A , G01N 13/16 C , G01B 21/30 , G01N 13/10 C , G05D 3/00 G , G05D 3/12 304 , G12B 1/00 601 D , G12B 1/00 601 G

Fターム (36件)：

2F069AA60 , 2F069DD15 , 2F069GG01 , 2F069GG04 , 2F069GG06 , 2F069GG07 , 2F069GG52 , 2F069GG62 , 2F069HH05 , 2F069HH09 , 2F069HH30 , 2F069JJ08 , 2F069JJ15 , 2F069JJ22 , 2F069JJ25 , 2F069LL03 , 2F069LL11 , 2F069MM04 , 2F069MM32 , 2F069MM34 , 2F069NN08 , 2F069NN10 , 2F069PP02 , 2F069QQ05 , 2F069RR09 , 5H303AA20 , 5H303BB06 , 5H303BB11 , 5H303DD14 , 5H303DD17 , 5H303EE07 , 5H303GG04 , 5H303KK02 , 5H303KK03 , 5H303KK04 , 5H303QQ06

引用特許：

審査官引用 (9件)

原子間力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-169392 出願人：株式会社ニコン
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-185428 出願人：日立建機株式会社, 株式会社日立製作所
位相または周波数の検出を用いる軽打原子間力顕微鏡
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-523775 出願人：デジタル・インストルメンツ・インコーポレーテッド

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