ダイヤフラム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤憲秋 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-224238
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051184
出願日： 1997年08月05日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：

【要約】【課題】高い透過性を有する流体に対しても効果的な合成樹脂製のダイヤフラムを提供する。【解決手段】合成樹脂よりなるダイヤフラム本体11の表面に金属、合金、無機物質またはセラミックスからなる緻密な薄膜20を真空蒸着によって一体に成形した。

請求項（抜粋）：

合成樹脂よりなるダイヤフラム本体の表面に金属、合金、無機物質またはセラミックスからなる緻密な薄膜を真空蒸着によって一体に形成したことを特徴とするダイヤフラム。

IPC (4件)：

F16J 3/02 , C23C 14/20 , C23C 14/24 , C23C 14/34

FI (6件)：

F16J 3/02 A , C23C 14/20 A , C23C 14/24 H , C23C 14/24 N , C23C 14/34 H , C23C 14/34 N

引用特許：

審査官引用 (2件)

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