特許

J-GLOBAL ID：200903037830120838

微小構造体

発明者： 山田 高幸 ,  高橋 睦也 ,  後藤 崇之 ,  田原 諭 ,  島筒 博章
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社 ,  三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-309927
公開番号（公開出願番号）：特開2003-117895
出願日： 2001年10月05日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】 製造装置が大型化せずに、微小構造体の強度低下を防止し、歩留まりを向上させることができる微小構造体を提供する。【解決手段】 この微小構造体10は、第1〜第6層の薄膜3-1,3-2,3-3,3-4,3-5,3-6が接合されて積層されたものであり、第2層の薄膜3-2と第4層の薄膜3-4は、それぞれ内側に円形の空隙3aを有する。これにより、薄膜間の接触面積が小さくなり、必要な接合強度が得られる。

請求項（抜粋）：

複数の薄膜が接合されて積層された微小構造体において、前記複数の薄膜のうちの1つあるいは複数の薄膜は、前記薄膜同士の接触面積が所定の面積以下となるように空隙を有することを特徴とする微小構造体。

IPC (3件)：

B81B 1/00 ,  B29C 67/00 ,  B81C 1/00

FI (3件)：

B81B 1/00 ,  B29C 67/00 ,  B81C 1/00

Fターム (14件)：

4F213AA40 ,  4F213AA44 ,  4F213WA25 ,  4F213WL03 ,  4F213WL10 ,  4F213WL12 ,  4F213WL23 ,  4F213WL34 ,  4F213WL56 ,  4F213WL67 ,  4F213WL75 ,  4F213WL85 ,  4F213WL87 ,  4F213WL96

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 微小構造体、およびその製造方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-114071   出願人：富士ゼロックス株式会社