特許
J-GLOBAL ID:200903037857273962

計測システム及び計測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 中尾 俊輔 ,  伊藤 高英 ,  畑中 芳実 ,  大倉 奈緒子 ,  玉利 房枝 ,  鈴木 健之 ,  磯田 志郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-121300
公開番号(公開出願番号):特開2008-304456
出願日: 2008年05月07日
公開日(公表日): 2008年12月18日
要約:
【課題】正確かつ高速に位相差および屈折率差を測定することができるシステムを提供する。【解決手段】光を照射する光源1と、光源により照射された光を第1の光路と、第2の光路に分割する分割手段3と、第2の光路の光路長を変更する光路長変更手段7と、第2の光路内に配置された一対のレンズ8,9と、一対のレンズの間に試料を配置し移動させる試料移動手段10と、第1の光路からの光21と第2の光路からの光22との干渉光の強度を検出する光検出手段11と、光検出手段において検出された干渉光の強度に基づき光路長変更手段における光路長の変更量をフィードバック制御する制御手段12と、制御手段により制御された光路長の変更量を検出する変更量検出手段と、を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光を照射する光源と、 前記光源により照射された光を第1の光路と、第2の光路に分割する分割手段と、 前記第2の光路の光路長を変更する光路長変更手段と、
IPC (1件):
G01N 21/45
FI (1件):
G01N21/45 A
Fターム (17件):
2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059BB14 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE09 ,  2G059EE17 ,  2G059EE18 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK02 ,  2G059KK04
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 位相差顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-058227   出願人:オリンパス光学工業株式会社
審査官引用 (2件)
  • 屈折率測定装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-337189   出願人:株式会社生体光情報研究所
  • 位相差測定装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-168937   出願人:日本電気株式会社

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