特許
J-GLOBAL ID：200903037865141129
基板検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-275079
公開番号（公開出願番号）：特開平11-091948
出願日： 1997年09月23日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：
【要約】【課題】 数少ない基板検出センサ部により基板の存否と位置ずれの有無を検出することができる基板検出装置を提供する。【解決手段】 略円形状の基板Wを載置すべき基板載置部26上に載置された基板の存否と位置ずれとを検出する基板検出装置において、前記基板載置部上に載置された基板の外周端よりも僅かに内側に対応する部分に、前記基板の周方向に沿って略均等の間隔で配置された複数の基板検出センサ部50,52と、前記複数の基板検出センサ部の出力に基づいて基板の存否と位置ずれの有無とを判断する判断制御部40とを備えるように構成する。これにより、例えば3つのセンサ部により基板の存否及びこの許容量以上の位置ずれの有無を検出する。
請求項（抜粋）：
略円形状の基板を載置すべき基板載置部上に載置された基板の存否と位置ずれとを検出する基板検出装置において、前記基板載置部上に載置された基板の外周端よりも僅かに内側に対応する部分に、前記基板の周方向に沿って略均等の間隔で配置された複数の基板検出センサ部と、前記複数の基板検出センサ部の出力に基づいて基板の存否と位置ずれの有無とを判断する判断制御部とを備えたことを特徴とする基板検出装置。
IPC (3件)：
B65G 49/07
, B65G 1/00 535
, H01L 21/68
B65G 49/07 F
, B65G 1/00 535
, H01L 21/68 F
