感光性樹脂組成物及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久保山隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-136184
公開番号（公開出願番号）：特開平6-348007
出願日： 1993年06月07日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】感度、解像度、プロファイル、焦点深度及び耐熱性等の諸性能に優れ、しかもスカムのない感光性樹脂組成物及びその製造方法を提供する。【構成】一般式(Ia)(式中、R1 〜R3 は各々独立して水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表わす。)で示されるフェノール類とホルムアルデヒドとを酸触媒の存在下に反応させて得られる反応生成物であって、且つ、重量平均分子量が200から900のノボラック又は分子量が200〜900の化合物と、一般式(Ib)(式中、R4 〜R6 は各々独立して水素原子、水酸基又は炭素数1〜6のアルキル基を表わす。)で示されるフェノール化合物と、ホルムアルデヒドとの3者を縮合させて得られる、アルカリ可溶性ノボラック樹脂、レジスト溶剤及びo-ナフトキノンジアジド化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物;並びに、その製造方法。

請求項（抜粋）：

一般式(Ia)【化1】(式中、R1 〜R3 は各々独立して水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表わす。)で示されるフェノール類とホルムアルデヒドとを酸触媒の存在下に反応させて得られる反応生成物であって、且つ、重量平均分子量が200から900のノボラック又は分子量が200〜900の化合物と、一般式(Ib)【化2】(式中、R4 〜R6 は各々独立して水素原子、水酸基又は炭素数1〜6のアルキル基を表わす。)で示されるフェノール化合物と、ホルムアルデヒドとの3者を縮合させて得られ、しかも分子量900以下の範囲のGPCパターン面積比が未反応のフェノール化合物のパターン面積を除く全パターン面積に対して25%以下(ポリスチレン換算)であるアルカリ可溶性ノボラック樹脂、レジスト溶剤及びo-ナフトキノンジアジド化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/023 511 , G03F 7/022 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (17件)

特開昭60-164740
特開平3-022949
特開平3-029950

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