特許
J-GLOBAL ID：200903037916239862

薄板状工作物の両面研削・研磨装置

発明者：
阿部 耕三

阿部 耕三 について


出願人/特許権者：
株式会社スーパーシリコン研究所

株式会社スーパーシリコン研究所 について


代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-053580
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249687
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：
【要約】【課題】 大径化した工作物であっても、高精度に両面研削又は両面研磨する。【解決手段】 薄板状工作物Wを挟んで対向配置される一対の研削主軸10,20の薄板状工作物Wに対向する面にリング状の研削ホイール11,21を設け、研削ホイール11,21の内側に工作物保持体12,22を設ける。研削主軸10,20は、工作物Wの中心点を研削ホイール11,21が通るように工作物Wに対して位置決めされる。工作物保持体12,22として通気性及び通水性のある多孔質セラミックス等を使用し、加工液を供給する給水管及び排気管を保持体12,22の回転軸内に設けてもよい。【効果】 加工中の工作物Wの表面大部分が保持体12,22で保持されるため、工作物Wの姿勢が安定化し、高精度の研削又は研磨が可能となる。
請求項（抜粋）：
薄板状工作物を挟んで対向配置される一対の研削主軸と、薄板状工作物に対向する研削主軸の面に設けられたリング状の研削ホイールと、研削ホイールの内側に設けられた工作物保持体とを備え、工作物の中心点を研削ホイールが通るように工作物に対して研削主軸が位置決めされる薄板状工作物の両面研削・研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 7/17 ,  H01L 21/304 321
FI (2件)：
B24B 7/17 A ,  H01L 21/304 321 E
引用特許：
審査官引用 (3件)

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