特許
J-GLOBAL ID：200903037935645839
コロナ予備電離電極を有するガスレーザ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-358988
公開番号（公開出願番号）：特開2001-177169
出願日： 1999年12月17日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 レーザチャンバーを大型化させず、かつ、レーザガスの循環を妨げることなくコロナ予備電離電極へ高電圧を供給するための導入端子構造。【解決手段】 レーザチャンバー1内に一対の主放電電極3、4と、この主放電電極の近傍に沿って配置されたコロナ予備電離電極5とを有するガスレーザ装置において、レーザチャンバー1を形成する壁11の一部に絶縁部材12が取り付けられ、この絶縁部材12には、主放電電極の一方の電極3が取り付けられると共に、コロナ予備電離電極5を給電手段10へ電気的に接続するための導入端子24が設けられている。絶縁部材12のレーザチャンバー内側表面には、導入端子24を囲むように、主放電電極3、4間の主放電方向に立った襞26が形成されている。
請求項（抜粋）：
レーザチャンバー内に一対の主放電電極と、この主放電電極の近傍に沿って配置されたコロナ予備電離電極とを有するガスレーザ装置において、前記レーザチャンバーを形成する壁の一部に絶縁部材が取り付けられ、この絶縁部材には、前記主放電電極の一方の電極が取り付けられると共に、前記コロナ予備電離電極を給電手段へ電気的に接続するための導入端子が設けられていることを特徴とするコロナ予備電離電極を有するガスレーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 B
, H01S 3/097 E
5F071AA04
, 5F071AA06
, 5F071CC06
, 5F071CC10
, 5F071EE04
, 5F071JJ01
