試料表面の検査方法およびこれを使用するX線分析装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-021706
公開番号（公開出願番号）：特開平11-316201
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】表面検査装置と蛍光X線検出装置とを備え、作業者にとって作業し易く、精度の高いX線分析を行うことができる試料表面の検査方法およびその装置を提供する。【解決手段】試料表面の検査方法は、平板状の試料3の表面を検査して、その表面の物理的または化学的な状態の情報を取得し、その取得された表面情報を処理して表示器21の画面に分布図を表示し、この分布図の選択された任意の位置に1次X線14の分析スポット図を重ねて表示し、前記分布図の選択された任意の位置に対応する前記試料3の表面の位置を分析スポットに移動し、前記分析スポットに1次X線14を照射し、前記分析スポットから発生する蛍光X線17を検出してその部位に存在する元素を定性分析または定量分析する。

請求項（抜粋）：

平板状の試料の表面を検査して、その表面の物理的または化学的な状態の情報を取得し、その取得された表面情報を処理して表示器の上に前記試料の表面状態の分布図として表示し、この分布図上で選択された任意の位置に1次X線または検出器のスポット図を重ねて表示し、前記分布図の選択された任意の位置に対応する前記試料の表面の位置を分析スポットに移動し、前記分析スポットに1次X線を照射し、前記分析スポットから発生する蛍光X線を検出してその部位に存在する元素を定性または定量分析する試料表面の検査方法。

IPC (2件)：

G01N 23/223 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01N 23/223 , H01L 21/66 N

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平3-181848
特開平3-181848
特開平3-018708

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