特許
J-GLOBAL ID:200903037951178566

炭酸ガスレーザ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 後藤 洋介 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-141504
公開番号(公開出願番号):特開平10-335719
出願日: 1997年05月30日
公開日(公表日): 1998年12月18日
要約:
【要約】【課題】 炭酸ガスレーザ装置において、短時間に安定したレーザ出力を得る。【解決手段】 電極アセンブリ11はレーザベッセル16内に配置されており、レーザベッセル16内には熱交換器17及びシロッコファン18が配置されている。熱交換器には、例えば、チラーポンプによって冷却水が送り込まれる。この際、シロッコファン18が回転駆動されてレーザベッセル内のガスが撹拌される。このようにして、熱交換器によってレーザベッセル内のレーザガス(炭酸ガス)を直接冷却して予め定められた温度に維持して、短時間に安定したレーザ出力を得る。
請求項(抜粋):
炭酸ガスがレーザガスとして封入されたレーザベッセル内に配置されレーザ光を出力する炭酸ガスレーザ部と、前記レーザベッセル内に配置され前記レーザガスを直接冷却して前記レーザガスを予め定められた温度に維持する熱交換器とを有することを特徴とする炭酸ガスレーザ装置。
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭63-012185
  • ガスレーザ装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-003310   出願人:株式会社東芝
  • 特開昭63-012185

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