特許
J-GLOBAL ID:200903037960782506

プロセスに於ける欠陥センサの検出と特定を行うための方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 角田 嘉宏
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-509314
公開番号(公開出願番号):特表平11-510898
出願日: 1996年08月02日
公開日(公表日): 1999年09月21日
要約:
【要約】関連するセンサ出力信号をそれぞれが生成するセンサのセットを有するプロセス制御システム内の欠陥センサを検出するための方法及び装置が提供される。この方法及び装置は、主成分分析を使用してセンサ出力信号からセンサ評価信号のセットを生成し、次に、センサのそれぞれに対して有効性指標を2つの残差の比として決定し、ここで、各残差はセンサ出力信号とセンサ評価信号との間の差の異なる測定値を表している。決定された有効性指標は、次に、センサの一つに欠陥が生じたことを検出し、及び/又はセンサのどの一つに欠陥が生じているかを特定するために使用される。
請求項(抜粋):
関連するセンサ出力信号をそれぞれ出力するセンサのセットを有するプロセス制御システム内の欠陥センサを検出する方法であって、 センサ出力信号からセンサ評価信号のセットを生成し、各センサ評価信号はセンサの一つの出力の評価を含み、 センサのセットの一つに対する有効性指標をセンサ評価信号とセンサ出力信号との間の差の測定値を表す残差の関数として決定し、及び センサの一つに欠陥が生じたかどうかを突きとめるために、センサの一つに関連する有効性指標を使用する ステップを備えている方法。
IPC (2件):
G01D 21/00 ,  G05B 23/02 302
FI (2件):
G01D 21/00 Q ,  G05B 23/02 302 S
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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