特許
J-GLOBAL ID：200903037962739632
ZnO単結晶の育成炉と単結晶育成法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-294367
公開番号（公開出願番号）：特開2004-131301
出願日： 2002年10月08日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：
【課題】化学気相輸送法によって酸化亜鉛単結晶を育成するにあたり、原料の単結晶化率を高め、大型結晶を得る。【構成】典型的な炉体と育成法 キャリアーガスを用い酸化亜鉛を原料とした気化・再析出を特徴とする化学気相輸送法による酸化亜鉛単結晶育成に用いる炉であり、その原料の気化、原料の再析出の条件を安定化するため、炉内の温度分布、原料気化位置、結晶析出位置を可変とする機能を有するもの。また、この機能を有する炉を使用して、水素を含むガスによって気化した原料を輸送し、酸化ガスによって当該気体を再酸化し析出させて酸化亜鉛単結晶を得る結晶製造法。当該育成炉の使用と育成法の実施によって透明性の高い酸化亜鉛単結晶を、効率よく得ることが可能である。当該育成炉、及び育成法によって、特に欠陥濃度の低い結晶を得られるため、発光体、窓剤、半導体用基板材料に利用される。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
炉内の低酸素分圧部分において酸化亜鉛原料を加熱・蒸発させ、気化した酸化亜鉛成分を気流にのせて炉内の結晶析出部位まで輸送し、再析出、結晶化させる、いわゆる化学気相輸送法による酸化亜鉛単結晶育成に用いる炉であって、主たる構成は、加熱用熱源、原料付近に原料の蒸発を促進する還元雰囲気を生じさせるために導入するガスをその導入量を調整しつつ導入するための機構、結晶析出部位付近に結晶の再析出を促進させるための酸化雰囲気を生じさせるために導入するガスをその導入量を制御しつつを導入するための機構、雰囲気を保つためガスを封じるにたる気密性をもった反応管とし、原料の蒸発、結晶の析出の進行状況に合わせて、炉内の温度分布、又は、析出結晶、及び、蒸発原料の位置を変化させることによって、原料の蒸発量と結晶の析出量を制御することが可能となる機能を備えた、高温雰囲気炉の呈をなす、酸化亜鉛単結晶育成炉。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
4G077AA02
, 4G077AA03
, 4G077BB07
, 4G077DB01
, 4G077DB15
, 4G077EG20
, 4G077HA12
