特許
J-GLOBAL ID：200903037964912641
レーザー加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-135783
公開番号（公開出願番号）：特開2008-290086
出願日： 2007年05月22日
公開日（公表日）： 2008年12月04日
要約：
【課題】2本のストリートに沿って同時にレーザー加工を施すことができるレーザー加工装置を提供する。【解決手段】チャックテーブル36に保持された被加工物Wとレーザー光線照射手段と加工送り手段とを具備するレーザー加工装置において、レーザー光線発振手段61からのレーザー光線を第1のレーザー光線66aと第2のレーザー光線66bとに分光するビームスプリッター63と、これら二本のレーザー光線を集光する集光レンズ641と、第1のレーザー光線および第2のレーザー光線を集光レンズに向けて導くプリズム65と、第1のレーザー光線をプリズムに導く第1の角度可変ミラー手段69aと、第2のレーザー光線をプリズムに導く第2の角度可変ミラー手段69bと、第1の光路または第2の光路に配設され第1のレーザー光線または第2のレーザー光線の一方の偏光面の方向を他方の偏光面の方向に一致させる1/2波長板70とを具備している。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、を具備するレーザー加工装置において、
該レーザー光線照射手段は、レーザー光線を発振するレーザー光線発振手段と、該レーザー光線発振手段によって発振されたレーザー光線を第1の偏光面を有する第1のレーザー光線と該第1の偏光面と直交する第2の偏光面を有する第2のレーザー光線とに分光するビームスプリッターと、該ビームスプリッターによって分光された該第1のレーザー光線および該第2のレーザー光線を集光する集光レンズと、該ビームスプリッターと該集光レンズとの間に配設され該ビームスプリッターによって分光された該第1のレーザー光線および該第2のレーザー光線を該集光レンズに向けて導くプリズムと、該ビームスプリッターによって分光された該第1のレーザー光線を該プリズムに導く第1の光路に配設され該第1のレーザー光線を該プリズムに導く角度を変更する第1の角度可変ミラー手段と、該ビームスプリッターによって分光された該第2のレーザー光線を該プリズムに導く第2の光路に配設され該第2のレーザー光線を該プリズムに導く角度を変更する第2の角度可変ミラー手段と、該第1の光路または該第2の光路に配設され該第1のレーザー光線の第1の偏光面または該第2のレーザー光線の第2の偏光面の一方の偏光面の方向を他方の偏光面の方向に一致させるλ/2波長板と、を具備している、
ことを特徴とするレーザー加工装置。
IPC (3件)：
B23K 26/067
, B23K 26/06
, B23K 26/08
B23K26/067
, B23K26/06 Z
, B23K26/08 B
4E068AE01
, 4E068CA03
, 4E068CD04
, 4E068CD08
, 4E068CD09
, 4E068CE03
, 4E068DA10
