平面加工装置のスピンドル傾斜角度調整機構

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-117404
公開番号（公開出願番号）：特開平11-309673
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】スピンドルの傾斜角度調整を容易に行うことができると共に微調整も容易な平面加工装置のスピンドル傾斜角度調整機構を提供する。【解決手段】本発明は、ウェーハ26の裏面を研削する平面研削装置18を、ケーシング70、フィードテーブル72、チルトブロック74、スピンドルケーシング76から構成する。そして、フィードテーブル72に対するチルトブロック74のY方向傾斜角度調整を、送りねじ装置78で調整する。そして、チルトブロック74に対するスピンドルケーシング76のX方向傾斜角度調整を、断面楔形状のスペーサ108を有するスペーサ駆動装置80とジョイントバー82とを用いて調整する。

請求項（抜粋）：

装置本体と、装置本体に回転可能に設けられると共にウェーハを保持するテーブルと、テーブルに並設されて昇降装置が設けられたケーシングと、ケーシングの昇降装置によって昇降移動されるZ方向移動部と、Z方向移動部に、Z方向に直交するY方向に揺動自在に支持されたY方向揺動部と、Y方向揺動部を前記Z方向移動部に対してY方向に揺動させるY方向揺動手段と、Y方向揺動部に、Y方向とZ方向とに直交するX方向に揺動自在に支持されると共に、前記ウェーハを加工する砥石若しくは研磨布のスピンドルと該スピンドルを回転させるモータとが設けられたX方向揺動部と、X方向揺動部を前記Y方向揺動部に対してX方向に揺動させるX方向揺動手段とを備え、Y方向揺動部とX方向揺動部とを揺動させてウェーハに対するスピンドルの傾斜角度を調整すると共に、Z方向移動部で砥石若しくは研磨布を下降移動させてウェーハに押し当てて、砥石若しくは研磨布とウェーハとを回転させてウェーハを加工する平面加工装置において、前記X方向揺動部は、円柱状のジョイント部材を介して前記Y方向揺動部に揺動自在に支持され、前記X方向揺動手段は、略楔形状のスペーサ部材と、該スペーサ部材をX方向揺動部とY方向揺動部との隙間に嵌入させてX方向揺動部を揺動させる駆動部とから構成され、該駆動部でスペーサ部材の嵌入量を制御することにより、X方向揺動部の揺動角度を制御することを特徴とする平面加工装置のスピンドル傾斜角度調整機構。

IPC (2件)：

B24B 41/047 , B24B 37/04

FI (2件)：

B24B 41/047 , B24B 37/04 G

引用特許：

審査官引用 (4件)

研削装置および研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-220144 出願人：芝山機械株式会社
両頭平面研削機
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-294183 出願人：大昌精機株式会社
熱圧着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-345231 出願人：ソニーケミカル株式会社

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