電空変換器及びそのバルブユニット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-171542
公開番号（公開出願番号）：特開平11-013926
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】シリコンを基材として化学エッチングを用いて製造される超小形のバルブユニット部品と、これを用いた電空変換器を提供するにある。【解決手段】バルブユニットは、シリコンウエハ中に少なくとも排気孔が形成されると共にこの排気孔を閉塞する可動部が先のシリコンウエハと一体に形成され、先の可動部には強磁性体ウエハが固着されて電流信号により発生する磁場によりこの強磁性体ウエハを吸引し、給気圧が供給された絞り部を通過した空気圧信号を先の排気孔から放出して、先の電流信号に対応する空気圧信号を得るようにし、また電空変換器は、伝送された電気信号と出力空気圧に比例する帰還信号との偏差信号に対応する空気圧信号を先のバルブユニットを介して出力しこの空気圧信号に対応する先の出力空気圧を出力するようにしたものである。

請求項（抜粋）：

伝送された電気信号と出力空気圧に比例する帰還信号との偏差信号に対応する空気圧信号をバルブユニットを介して出力しこの空気圧信号に対応する前記出力空気圧を出力する電空変換器において、前記バルブユニットは、シリコンウエハ中に少なくとも排気孔が形成されると共にこの排気孔を閉塞する可動部が前記シリコンウエハと一体に形成され、前記可動部には強磁性体ウエハが固着されて前記偏差信号に対応する磁場によりこの強磁性体ウエハを吸引して、給気圧が供給された絞り部を通過した前記空気圧信号を前記排気孔から放出して、前記電気信号に対応する前記出力空気圧を得ることを特徴とする電空変換器。

IPC (2件)：

F16K 31/06 305 , G05D 7/06

FI (2件)：

F16K 31/06 305 Z , G05D 7/06 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

マイクロバルブ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-022442 出願人：日本電装株式会社
特表平7-508085
特開平3-103680

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