真空処理を行う非加工物を、低汚染かつ高処理能力で取扱うためのシステムおよび方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-523697
公開番号（公開出願番号）：特表2002-504744
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2002年02月12日
要約：

【要約】2つのロード・ロックと、搬送室および処理室とを備えた非加工物を取扱うシステムである。周囲環境圧の他方のロード・ロックから被加工物をアンロードする間に、真空圧の一方のロード・ロックから処理用被加工物を取り去ることができる。搬送室は、2つのアームを持つ搬送ロボットを有する。処理済みの被加工物および新規の被加工物は、前記2つのロボットアームの単純な「下側へ/上側へ」の動作により交換できる。搬送ロボットは、中心シャフトまわりに回転し、ロード・ロックもしくは処理室と位置合わせされる。また、ロボットはアームを、被加工物が置かれる、もしくは、被加工物が取り去られる所望位置に位置合せをするために、上昇、下降できる。2つのロード・ロックは、ロボットの単なる垂直動作を、2つのロード・ロック間で選択するために使用できるよう、一方を他方の上に配置することができる。2つのロード・ロックおよび搬送ロボットにより、ほぼ連続した処理が可能となる。更に処理能力を増大させるために、付加的な処理室を搬送室に付加できる。更に被加工物処理システムの各段階は、例えば2つの並列する被加工物の如き多数の被加工物を取り扱うように設計することができる。分担して機械加工を行うようにすることで処理能力を高めることができる。シンプルで、コンパクトな設計をもたらすために、直線運動のあとで回転運動するドアをロード・ロックに利用できる。

請求項（抜粋）：

被加工物が第1の軸を形成する経路に沿って該チャンバ中に移動する通路をなすことができる寸法の開口部を有する外壁を含んでいるチャンバと、ドアと、前記ドアに連結されたドアフレームであって、第1の位置と第2の位置との間で前記第1の軸をほぼ横切る第2の軸に沿って動くよう摺動可能に前記チャンバに装着されており、前記第1の位置は前記被加工物が前記開口部を通り抜けることができるものであり、前記第2の位置は前記被加工物が前記開口部を通り抜けることができないドアフレームと、前記ドアを後退位置から前進位置に移動させる力をもたらす前進手段であって、前記ドアフレームが第2の位置にあり、かつ、前記ドアが前記前進位置にある場合、前記ドアは前記開口部を覆っている前進手段と、および、前記ドアを前記前進位置から前記後退位置に後退させる力をもたらす後退段と、を備えたことを特徴とする被加工物処理システム。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B25J 11/00 , B65G 49/00

FI (3件)：

H01L 21/68 A , B25J 11/00 Z , B65G 49/00 C

Fターム (22件)：

5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA15 , 5F031GA03 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031JA01 , 5F031JA22 , 5F031LA14 , 5F031LA15 , 5F031LA16 , 5F031MA04 , 5F031MA13 , 5F031NA02 , 5F031NA05 , 5F031NA07 , 5F031NA09 , 5F031PA02

引用特許：

審査官引用 (1件)

処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-120857 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

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