特許

J-GLOBAL ID：200903038026649083

反射防止膜材料及びパターン形成方法

発明者： 畠山 潤 ,  原田 裕次 ,  渡辺 淳
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-311396
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194798
出願日： 2000年10月12日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【解決手段】 側鎖にスルホニル基を持つパーフルオロカーボンポリマーを含むことを特徴とする水溶性反射防止膜材料。【効果】 本発明の光反射防止膜材料は、微細で寸法精度及び合わせ精度が高く、再現性よくレジストパターンを形成し得る。

請求項（抜粋）：

側鎖にスルホニル基を持つパーフルオロカーボンポリマーを含むことを特徴とする水溶性反射防止膜材料。

IPC (4件)：

G03F 7/11 501 ,  C08J 7/04 CER ,  H01L 21/027 ,  C08L101:00

FI (4件)：

G03F 7/11 501 ,  C08J 7/04 CER Z ,  C08L101:00 ,  H01L 21/30 574

Fターム (14件)：

2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025DA02 ,  2H025DA03 ,  2H025FA17 ,  4F006AA11 ,  4F006AB19 ,  4F006BA14 ,  4F006CA03 ,  4F006DA04 ,  5F046PA07

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 表面反射防止塗布組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-180168   出願人：三菱化学株式会社