特許
J-GLOBAL ID：200903098497406345
表面反射防止塗布組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-180168
公開番号（公開出願番号）：特開平8-044066
出願日： 1994年08月01日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 フォトレジストの表面反射防止膜として適切な低屈折率を有し、水性媒体によって除去可能であり、また、塗布膜内に異物も発生せず、現像後の残渣の発生の極めて少ない、表面反射防止膜を形成するための組成物を提供する。【構成】 水溶性フッ素化合物及び水を含む表面反射防止塗布組成物において、水溶性フッ素化合物が、フッ素化アルキルポリエーテルスルホン酸及びその非金属性塩、並びに、フッ素化アルキルポリエーテルカルボン酸及びその非金属性塩からなる群から選ばれる1以上の化合物を含有する表面反射防止塗布組成物。
請求項（抜粋）：
水溶性フッ素化合物及び水を含む表面反射防止塗布組成物において、水溶性フッ素化合物が、フッ素化アルキルポリエーテルスルホン酸及びその非金属性塩、並びに、フッ素化アルキルポリエーテルカルボン酸及びその非金属性塩からなる群から選ばれる1以上の化合物を含有することを特徴とする表面反射防止塗布組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/11 501
, H01L 21/027
