特許

J-GLOBAL ID：200903038040219571

セラミック多層基板の製造方法および製造装置

発明者： 内藤 昭彦 ,  伊藤 猛
出願人/特許権者： 株式会社住友金属エレクトロデバイス
代理人 (1件)： 服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-288245
公開番号（公開出願番号）：特開2001-111224
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 圧着不良を防止し、寸法精度を向上するセラミック多層基板の製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】 圧着時に、外溝44および内溝45によりグリーンシート積層体を拘束し、脱気溝47によりグリーンシート積層体の脱気を行う。このため、圧着時に、グリーンシート積層体の伸びおよび変形が低減されると共に、圧着時の加熱によりグリーンシート積層体に含有される溶剤が気化しても、この気化した溶剤ガスはグリーンシート積層体の内部から外部に排出される。したがって、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生したりすることを防止して圧着不良を防止し、グリーンシート積層体の寸法精度を向上することができる。さらに、拘束部43に外溝44および内溝45を形成し、外溝44および内溝45を横切るように脱気溝47を形成すればよいので、製造設備が安価であり、製造が容易で、製造工数を低減することができる。

請求項（抜粋）：

複数枚のグリーンシートを積層し、この積層したグリーンシート積層体を圧着し、焼成してなるセラミック多層基板を製造する方法であって、圧着時に、前記グリーンシート積層体の一方の面側に配した第1の圧着板、あるいは前記グリーンシート積層体の他方の面側に配した第2の圧着板の一方または両方に形成された拘束溝により前記グリーンシート積層体を拘束する工程と、前記拘束溝を横切るように形成された脱気溝により前記グリーンシート積層体の脱気を行う工程と、を含むことを特徴とするセラミック多層基板の製造方法。

IPC (2件)：

H05K 3/46 ,  H01L 23/12

FI (3件)：

H05K 3/46 H ,  H05K 3/46 Y ,  H01L 23/12 D

Fターム (22件)：

5E346AA12 ,  5E346AA15 ,  5E346AA38 ,  5E346AA43 ,  5E346BB01 ,  5E346CC17 ,  5E346CC18 ,  5E346CC31 ,  5E346DD02 ,  5E346DD13 ,  5E346DD34 ,  5E346EE24 ,  5E346EE25 ,  5E346EE26 ,  5E346FF18 ,  5E346GG01 ,  5E346GG05 ,  5E346GG08 ,  5E346GG09 ,  5E346HH11 ,  5E346HH31 ,  5E346HH33

引用特許：

審査官引用 (3件)

• セラミック多層基板の製造方法および製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-118407   出願人：株式会社住友金属エレクトロデバイス
• 特開平4-246890
  
• 特開平4-120760