特許

J-GLOBAL ID：200903038098041527

振動ジャイロ素子

発明者： 山口 啓一 ,  江口 誠 ,  ▲高▼倉 隆介
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-087938
公開番号（公開出願番号）：特開2006-266984
出願日： 2005年03月25日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：

【課題】 良好な角速度の検出感度を備え、耐衝撃性に優れた振動ジャイロ素子を提供する。【解決手段】 基部11と、基部11から直線状に両側へ延出された1対の検出振動腕12と、基部11から両側へ検出振動腕12に直交する方向に延出された1対の連結腕14と、各連結腕14の先端部からそれと直交して両側へ延出された各1対の駆動振動腕16と、を同一平面に備え、少なくとも検出振動腕12の一方の主面および他方の主面にそれぞれ溝部20を有する振動ジャイロ素子1において、検出振動腕12の基部11側に位置する溝部20の終端25が、検出振動腕12の腕幅の変化点bを結ぶ線上に配置されている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基部と、 前記基部から直線状に両側へ延出された1対の検出振動腕と、 前記基部から両側へ前記検出振動腕に直交する方向に延出された1対の連結腕と、 前記各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出された各1対の駆動振動腕と、を同一平面に備え、 少なくとも前記検出振動腕の一方の主面および他方の主面にそれぞれ溝部を有する振動ジャイロ素子であって、 前記検出振動腕の前記基部側に位置する前記溝部の終端が、前記検出振動腕の腕幅の変化点を結ぶ線上に配置されたことを特徴とする振動ジャイロ素子。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

Fターム (8件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB12 ,  2F105BB14 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 振動子および物理量測定用信号発生素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-032799   出願人：日本碍子株式会社