表面検査装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-345736
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160245
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】凸状の異物と凹状の結晶欠陥を同時に検出できるようにする。【解決手段】表面検査装置1が、第1波長の光束と第2波長の光束を発する光源部10と、第1波長の光束を第1照射角度により被検査物2の表面に照射する第1照射光学系20と、上記第2波長の光束を第1照射角度とは異なる第2照射角度により被検査物2の表面に照射する第2照射光学系30と、第1照射光学系で照射されて被検査物表面の検査対象からの散乱光を第1受光方向から受光する第1受光光学系40と、第2照射光学系で照射された被検査物表面の検査対象からの散乱光を第2受光方向から受光する第2受光光学系50と、被検査物と照射光学系の照射光束とを相対的に変位させる変位部60を有する。

請求項（抜粋）：

第1波長の光束と第2波長の光束を発する光源部と、上記第1波長の光束を第1照射角度により被検査物の表面に照射する第1照射光学系と、上記第2波長の光束を第1照射角度とは異なる第2照射角度により被検査物の表面に照射する第2照射光学系と、第1照射光学系で照射されて被検査物表面の検査対象からの散乱光を第1受光方向から受光する第1受光光学系と、第2照射光学系で照射された被検査物表面の検査対象からの散乱光を第2受光方向から受光する第2受光光学系と、第1受光光学系で受光した第1波長の散乱光を第1受光信号に変換する第1受光部と、第1受光光学系で受光した第2波長の散乱光を第2受光信号に変換する第2受光部と、第2受光光学系で受光した第1波長の散乱光を第3受光信号に変換する第3受光部と、第2受光光学系で受光した第2波長の散乱光を第4受光信号に変換する第4受光部と、上記被検査物と上記照射光学系の照射光束とを相対的に変位させる変位部と、上記第1乃至第4受光信号から検査対象を弁別する信号処理部と、から構成されていることを特徴とする表面検査装置。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平1-187437
ウエーハ付着異物の分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-080989 出願人：富士通株式会社
特開昭63-296348

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