特許
J-GLOBAL ID：200903038156382780
高純度感光性樹脂組成物の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-205257
公開番号（公開出願番号）：特開平8-069112
出願日： 1994年08月30日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】【構成】 感光性樹脂組成物を製造するに当り、該感光性樹脂組成物、または該感光性樹脂組成物を構成する各成分の一部あるいは全てを有機溶媒に溶解した溶液を、一般式(I):【化1】Al2 O3 ・nH2 O (I)(式中、nは0〜5の数を表わし、H2 Oは結晶構成成分としての水分を表わす。)で表わされる化合物から成る吸着剤と接触させることを特徴とする高純度感光性樹脂組成物の製造方法。【効果】 本発明方法によって得られる感光性樹脂組成物は、金属不純物およびハロゲンイオンを低濃度まで除去することができるため、極めて高純度であり、IC製造用フォトレジスト等として有用である。
請求項（抜粋）：
感光性樹脂組成物を製造するに当り、該感光性樹脂組成物、または該感光性樹脂組成物を構成する各成分の一部あるいは全てを有機溶媒に溶解した溶液を、一般式(I):【化1】Al2 O3 ・nH2 O (I)(式中、nは0〜5の数を表わし、H2 Oは結晶構成成分としての水分を表わす。)で表わされる化合物から成る吸着剤と接触させることを特徴とする高純度感光性樹脂組成物の製造方法。
IPC (4件)：
G03F 7/039
, B01D 15/00
, G03F 7/038
, H01L 21/027
