特許
J-GLOBAL ID：200903038170735539
圧力検出装置用パッケージ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-195876
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014569
出願日： 2001年06月28日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：
【要約】【課題】 絶縁板の撓み量が大きく、小さな圧力の変化も良好に検出することが可能な高感度でかつ小型の圧力検出装置を提供すること。【解決手段】 一方の主面に半導体素子3が搭載される絶縁基体1と、この絶縁基体1に配設され、半導体素子3の電極が電気的に接続される複数の配線導体5と、絶縁基体1の他方の主面との間に略円板形状の密閉空間Sを形成するように可撓な状態で絶縁基体1に接合された絶縁板2と、絶縁基体1の他方の主面に被着され、配線導体5の一つ5aに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極7と、絶縁板2の内側主面に第一電極7と対向するように被着され、配線導体5の他の一つ5bに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極8とを具備する圧力検出装置用パッケージにおいて、絶縁板2に密閉空間Sの外周に沿ってうねりを設けた。
請求項（抜粋）：
一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基体と、該絶縁基体の表面および内部に配設されており、前記半導体素子の各電極が電気的に接続される複数の配線導体と、前記絶縁基体の他方の主面との間に略円板形状の密閉空間を形成するように可撓な状態で前記絶縁基体に接合された絶縁板と、前記密閉空間内の前記他方の主面に被着されており、前記配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極と、前記絶縁板の内側主面に前記第一電極と対向するように被着されており、前記配線導体の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極とを具備する圧力検出装置用パッケージであって、前記絶縁板は、前記密閉空間の外周に沿ってうねりを有していることを特徴とする圧力検出装置用パッケージ。
IPC (3件)：
G01L 9/12
, H01L 23/04
, H01L 23/12
G01L 9/12
, H01L 23/04 Z
, H01L 23/12 L
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055EE25
, 2F055FF11
, 2F055FF38
, 2F055GG01
, 2F055GG12
