ウェーハ保持具、ウェーハ保持装置及び熱処理炉

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八田幹雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-315553
公開番号（公開出願番号）：特開2002-124519
出願日： 2000年10月16日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】シリコンウェーハの高温熱処理において、生産性を損なわずに、かつスリップ発生を十分に抑制することのできる、廉価なウェーハ保持具、ウェーハ保持装置及び熱処理炉を提供する。【解決手段】上面にウェーハを載せる板状の保持具であって、該保持具上にウェーハ支持部を有する3個以上のウェーハ受け部材が配置され、かつ該受け部材の内少なくとも1個がその上部に複数の凸部形状のウェーハ支持部を有する構成であると共に、保持具に対し可動である構造を有してなる可動受け部材からなり、ウェーハを少なくとも4箇所のウェーハ支持部で支持してなることを特徴とするウェーハ保持具、及び、該ウェーハ保持具を複数組み込んだウェーハ保持装置並びに熱処理炉である。

請求項（抜粋）：

上面にウェーハを載せる板状の保持具であって、該保持具上にウェーハ支持部を有する3個以上のウェーハ受け部材が配置され、かつ該受け部材の内少なくとも1個がその上部に複数の凸部形状のウェーハ支持部を有すると共に、保持具に対し可動である構造を有してなる可動受け部材からなり、ウェーハを少なくとも4箇所のウェーハ支持部で支持してなることを特徴とするウェーハ保持具。

IPC (4件)：

H01L 21/324 , H01L 21/22 511 , H01L 21/68 , H01L 27/12

FI (4件)：

H01L 21/324 Q , H01L 21/22 511 G , H01L 21/68 N , H01L 27/12 E

Fターム (8件)：

5F031CA02 , 5F031FA12 , 5F031GA08 , 5F031HA02 , 5F031HA08 , 5F031HA62 , 5F031HA64 , 5F031MA30

引用特許：

出願人引用 (8件)

ウエハ熱処理方法およびこれに用いるガードリング構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-318330 出願人：沖電気工業株式会社, 光洋リンドバーグ株式会社
ウェーハ支持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-098409 出願人：住友シチックス株式会社
半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-033918 出願人：住友金属工業株式会社

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