特許
J-GLOBAL ID：200903038183401109
表面検査装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-284580
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166552
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】鋼板等のように連続的に製造されて送られるシ-ト状製品の表面の模様状疵をオンラインで連続的に検査することは困難であった。【解決手段】鋼板6の表面からの反射光の異なる偏光をラインセンサカメラ7a〜7cで検出して偏光の強度分布を示す画像形成する。信号処理部9は3種類の偏光画像の各画素における偏光パラメ-タtanΨとcosΔと表面反射強度I0を演算し、偏光パラメ-タのtanΨ画像とcosΔ画像及びI0画像を生成し、生成したtanΨ画像とcosΔ画像とI0画像の異常部における明暗のパタ-ンを利用して異常部の種別を判定し、それらの明暗の輝度変化の度合いにより異常の程度を判定する。
請求項（抜粋）：
投光部と受光部と信号処理部とを有し、投光部は被検査面に平行光束の偏光を入射し、受光部は被検査面からの反射光の異なる光路にそれぞれ設けられ、それぞれ異なる方位角を有する3個の検光子と、各検光子を透過した光を受光するリニアアレイセンサとを有し、被検査面からの反射光を入射し画像信号に変換し、信号処理部は3個のリニアアレイセンサからの画像信号を処理し、振幅反射率比tanΨと位相差Δを示すcosΔと被検査面の表面反射強度I0を演算し、tanΨ画像とcosΔ画像及びI0画像を生成し、生成したtanΨ画像とcosΔ画像及びI0画像の各画素の濃度から表面の特性を評価することを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/89 B
, G01N 21/21 Z
