特許
J-GLOBAL ID：200903038223586921

インクジェットヘッドの製造方法

発明者：
荒川 克治

荒川 克治 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-095713
公開番号（公開出願番号）：特開2001-277522
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
要約：
【要約】【課題】 静電駆動方式インクジェットヘッドの製造方法において、全面エッチング面の表面粗さ及びマイクロピラミッドの発生を抑えることにより、全面エッチング面での良好なパターニングを行う。【解決手段】 第2の基板2が接合された第1の基板1を液温摂氏80度の38wt%水酸化カリウム水溶液で初期厚み400ミクロンのSi基板31を厚みが160ミクロンになるまで均一にエッチングする。次に液温摂氏80度の32wt%水酸化カリウム水溶液でSi基板31を厚みが所望の140ミクロンになるまで均一にエッチングする。
請求項（抜粋）：
振動板が形成されてなる第1の基板と、電極が形成されてなる第2の基板とを有するインクジェットヘッドの製造方法において、第1の基板と第2の基板を接合する工程と、第1の基板を第1の水酸化カリウム酸水溶液により湿式エッチングする工程と、前記第1の基板を前記第1の水酸化カリウム酸水溶液の濃度とは異なる第2の水酸化カリウム酸水溶液によりエッチングする工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (4件)：
B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  C23F 1/40
FI (3件)：
C23F 1/40 ,  B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A
Fターム (14件)：
2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG54 ,  2C057AP11 ,  2C057AP24 ,  2C057AP34 ,  2C057AP59 ,  2C057BA04 ,  2C057BA15 ,  4K057WA12 ,  4K057WB06 ,  4K057WC10 ,  4K057WE21 ,  4K057WN01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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