特許
J-GLOBAL ID：200903038232773726
静電容量式センサー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
辻本 一義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-004105
公開番号（公開出願番号）：特開平7-210310
出願日： 1994年01月19日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 受力部に作用する外力の大きさ及び方向を良好に検出でき且つ嵩が低い静電容量式センサーを提供すること。【構成】 基板2と、この基板2の上方に90°間隔で配置され且つ基板2の外部側を固定端とすると共に基板2の中央部側を自由端としてある金属製の起歪板3と、前記起歪板3と対向する基板2部分に設けられた電極部Cx+,Cx-,Cy+,Cy-とを具備したものであって、前記起歪板3の自由端部の押し込みにより、各起歪板3と電極部Cx+,Cx-,Cy+,Cy-相互間距離が変化するようにしてある。
請求項（抜粋）：
基板(2)と、この基板(2)の上方に90°間隔で配置され且つ基板(2)の外部側を固定端とすると共に基板(2)の中央部側を自由端としてある金属製の起歪板(3)と、前記起歪板(3)と対向する基板(2)部分に設けられた電極部(Cx+)(Cx-)(Cy+)(Cy-)とを具備したものであって、前記起歪板(3)の自由端部の押し込みにより、各起歪板(3)と電極部(Cx+)(Cx-)(Cy+)(Cy-)相互間距離が変化するようにしたことを特徴とする静電容量式センサー。
引用特許：
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