特許
J-GLOBAL ID：200903038252925913

ウェハ搬送用ロボットの教示方法および教示用プレート

発明者：
石川 伸一

石川 伸一 について

, 
脇迫 仁

脇迫 仁 について


出願人/特許権者：
株式会社安川電機

株式会社安川電機 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-115453
公開番号（公開出願番号）：特開2002-307348
出願日： 2001年04月13日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：
【要約】【課題】単純かつ安価な装置を用いるウェハ搬送用ロボットの教示方法であって、フロントエンド内のクリーン度を維持でき、しかも教示作業を省力化する教示方法を提供する。【解決手段】ウェハ搬送用ロボット1のハンド2に位置決め用マーク3を設け、位置決め用マーク3を撮像するカメラ6を備えた教示用プレート5を所定の場所に配置し、位置決め用マーク3をカメラ6で撮影し、位置決め用マーク3がカメラ5の画像内の所定の位置を占めるようにハンド2の位置をオペレータの操作によって修正して、ハンド2を水平面内で位置決めする。
請求項（抜粋）：
所定の場所に載置されたウェハを搬出、あるいは所定の場所にウェハを搬入するウェハ搬送用ロボットの教示方法において、ウェハ搬送用ロボットのハンドに位置決め用マークを設け、前記位置決め用マークを撮像するカメラを備えた教示用プレートを前記所定の場所に配置し、前記位置決め用マークを前記カメラで撮影し、前記位置決め用マークが前記カメラの画像内の所定の位置を占めるように前記ハンドの位置をオペレータの操作によって修正して、前記ハンドを水平面内で位置決めすることを特徴とするウェハ搬送用ロボットの教示方法。
IPC (3件)：
B25J 9/22 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68
FI (4件)：
B25J 9/22 A ,  B65G 49/07 C ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 G
Fターム (27件)：
3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007JU09 ,  3C007KT01 ,  3C007KT06 ,  3C007KX19 ,  3C007LS04 ,  3C007LS05 ,  3C007LS14 ,  3C007MT01 ,  3C007NS13 ,  5F031CA11 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA02 ,  5F031GA35 ,  5F031GA43 ,  5F031GA49 ,  5F031JA04 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031NA07
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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