特許

J-GLOBAL ID：200903038255266333

変位測定装置

発明者： 工藤 高裕 ,  高橋 正人 ,  加藤 修久 ,  中村 公弘
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 松崎 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-063953
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257620
出願日： 1996年03月21日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 物理的変位等を静電容量の変化から検出するに当たり、寄生容量の影響を高精度に補正し得るようにし、回路の低消費電力化を図る。【解決手段】 一対の静電容量(例えばC1,C2)および変位に対して容量の変化しない基準容量(例えばC7)などの検出部1、静電容量を充放電する充放電回路の充放電時間より容量に応じた周波数のパルス信号を得る容量-周波数変換回路3、そのパルスを計数するカウンタ回路4、その計数結果にもとづき所定の演算を行なうマイコン(μ-COM演算回路)5等を設け、基準容量の計数結果から一対の静電容量の寄生容量の補正を可能とし、高精度化を図る。

請求項（抜粋）：

共通電極に対して第1電極,第2電極が形成され、これら電極間に封液が満たされて検出すべき物理的変位に応じて変化する一対の静電容量を少なくとも1つと、前記静電容量を充放電する充放電回路を持ちその充放電に要する時間からその容量に応じた周波数のパルス信号に変換する容量-周波数変換回路と、この変換回路からのパルス数を計数する計数回路と、この計数回路の計数結果を読み取りその結果にもとづき所定の演算を行なう演算回路とを備え、その演算結果から物理的変位を測定する変位測定装置において、前記一対の静電容量と同じ封液で満たされ、物理的変位に対して静電容量の変化しない基準容量を形成し、この基準容量の計数結果により前記一対の静電容量の寄生容量を補正することを特徴とする変位測定装置。

IPC (2件)：

G01L 13/06 ,  G01D 5/24

FI (3件)：

G01L 13/06 C ,  G01D 5/24 F ,  G01D 5/24 L

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 変位変換器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-227547   出願人：富士電機株式会社
• 静電容量検出回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-235801   出願人：オムロン株式会社