特許

J-GLOBAL ID：200903038273516436

薄膜密着性評価方法

発明者： 桐田 科 ,  河嶋 利孝 ,  下田 和人
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (3件)： 小池 晃 ,  田村 榮一 ,  伊賀 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-106643
公開番号（公開出願番号）：特開2006-284453
出願日： 2005年04月01日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：

【課題】 nmオーダーレベルの膜厚である薄膜の密着力を、定量的に再現性良く、評価する。【解決手段】 ダイヤモンド圧子10をプラスチック基板1上に成膜された薄膜2にある荷重Fをかけながら押し込んで、押し込み深さ-荷重曲線特性を測定し、得られた押し込み深さ-荷重曲線特性における膜が弾性変形から塑性変形に変わる変位点を剥離点とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

プラスチック基板上に成膜された薄膜と基材との密着性を定量的に評価する薄膜密着性評価方法であって、 ダイヤモンド圧子を薄膜にある荷重をかけながら押し込んで、押し込み深さ-荷重曲線特性を測定し、得られた押し込み深さ-荷重曲線特性における膜が弾性変形から塑性変形に変わる変位点を剥離点とすることを特徴とする薄膜密着性評価方法。

IPC (2件)：

G01N 19/04 ,  G01N 3/00

FI (2件)：

G01N19/04 B ,  G01N3/00 P

Fターム (7件)：

2G061AB01 ,  2G061BA00 ,  2G061CA20 ,  2G061DA01 ,  2G061EA01 ,  2G061EA02 ,  2G061EC01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 硬質薄膜の密着性評価方法及び密着性評価試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-321000   出願人：広島県
• 薄膜密着強度評価方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-230418   出願人：トヨタ自動車株式会社, ユケン工業株式会社