特許
J-GLOBAL ID:200903038324551096

複屈折測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野口 繁雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-257718
公開番号(公開出願番号):特開平10-082697
出願日: 1996年09月06日
公開日(公表日): 1998年03月31日
要約:
【要約】【課題】 正確な光学次数を決定する。【解決手段】 複数の測定波長のうちの基準となる1つの測定波長について透過光強度の偏光方位に対する角度依存性を測定してレターデーションを測定し、その結果に基づいて波長板の重ね合わせの要否を判定する。その基準となる測定波長で波長板の重ね合わせが必要と判定されたときは他の測定波長についても波長板を重ね合わせた状態でレターデーションを求めた後、それらのレターデーションの結果から他の測定波長について波長板の重ね合わせが必要であったかどうかを判定し、基準となる測定波長で波長板の重ね合わせが不要と判定されたときは他の測定波長についても波長板を重ね合わせない状態でレターデーションを求めた後、それらのレターデーションの結果から他の測定波長について波長板の重ね合わせが必要であるかどうかを判定する。さらに、光学次数を決定するに際し、試料の波長分散係数が参照される。
請求項(抜粋):
複数のそれぞれの測定波長に対して試料の偏光透過光強度の偏光方位に対する角度依存性を測定する測定手段と、測定波長を選択する手段と、選択されたそれぞれの測定波長における前記測定手段による試料の偏光透過光強度の偏光方位に対する角度依存性測定結果に基づいて試料への波長板の重ね合わせの要否を判定する判定手段と、この判定結果に基づき、波長板の重ね合わせが必要と判定された測定波長については試料に波長板を重ね合わせ、波長板の重ね合わせが不要と判定された測定波長については試料に波長板を重ね合わせないように波長板の位置を制御する波長板位置制御部と、この測定結果を用いて光学次数を決定しレターデーションを求めるデータ処理部とを備えたことを特徴とする複屈折測定装置。
IPC (2件):
G01J 4/00 ,  G01N 21/23
FI (2件):
G01J 4/00 ,  G01N 21/23
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 複屈折測定装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-053024   出願人:新王子製紙株式会社
  • 特開平2-159540
審査官引用 (2件)
  • 複屈折測定装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-053024   出願人:新王子製紙株式会社
  • 特開平2-159540

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