特許
J-GLOBAL ID:200903038334700189
量子ドット赤外光検出器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 文廣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-017422
公開番号(公開出願番号):特開2003-218366
出願日: 2002年01月25日
公開日(公表日): 2003年07月31日
要約:
【要約】【課題】 アレー化がしやすいように垂直入射光にも感度を持ち、従来の中赤外光検出器に比べて高感度な検出器を実現することである。【解決手段】 キャリア障壁層と量子井戸層のヘテロ界面と量子ドット層との距離を適切に設計することで、素子の感度を向上させ、あるいは素子の感度と動作速度(光励起キャリア寿命の逆数)を目的に応じて広い範囲で制御可能にする。また、キャリアとして正孔を用いると、量子ドット中の正孔束縛エネルギーの量子ドットサイズ依存性が小さいため、感度波長が量子ドットのサイズばらつきにより影響されにくくなり、波長領域の安定した検出器ができる。
請求項(抜粋):
不純物が変調ドープされたキャリア障壁層とキャリア移動度の高い高純度半導体の量子井戸層からなる変調ドープ量子井戸構造の量子井戸層内にキャリアをトラップする量子ドットを有し、前記障壁層から供給されて前記量子ドットにトラップされたキャリアが、赤外光の照射により前記量子井戸層内に励起され、その井戸層内に励起されたキャリアが前記障壁層との間のヘテロ界面を横方向電流として伝導し、検出される量子ドット赤外光検出器であって、前記障壁層と量子井戸層の間のヘテロ界面と量子ドットが形成されている層との距離と赤外光検出感度が最適化されていることを特徴とする量子ドット赤外光検出器。
Fターム (5件):
5F088AA11
, 5F088AB07
, 5F088BA01
, 5F088CB03
, 5F088DA05
引用文献:
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