特許

J-GLOBAL ID：200903038432114387

洗浄設備及び洗浄方法

発明者： 前川 敏郎
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-088876
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335283
出願日： 1998年04月01日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 板状の被洗浄物を複数の洗浄機による洗浄を経て清浄にする設備の洗浄効果を向上させる。【解決手段】 ロール型洗浄機を1次洗浄機とし、1次洗浄機で被洗浄物の全面にわたり洗浄を行い、次にロール型洗浄機で取り除きにくいダストを取り除くのに好適なペンシル型ブラシ洗浄機を2次洗浄機として被洗浄物を高速回転し洗浄する。2次洗浄機をそのままスピン乾燥機としても利用する。

請求項（抜粋）：

板状の被洗浄物を複数の洗浄機による洗浄を経て清浄にする洗浄設備において、複数の洗浄機の内の前段の洗浄機は、被洗浄物の表面及び裏面の内の少なくとも一方に接触して被洗浄物の洗浄面に略水平の回転軸のまわりに回転するロール型ブラシ部材、及び被洗浄物を保持する保持部材を備えるロール型ブラシ洗浄機であり、後段の洗浄機は、被洗浄物の表面及び裏面の内の少なくとも一方に接触しながら被洗浄面上を移動するペンシル型ブラシ部材、及び被洗浄物自体を回転させる回転駆動部材を備えるペンシル型ブラシ洗浄機である洗浄設備。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 1/04 ,  B08B 3/02

FI (3件)：

H01L 21/304 341 B ,  B08B 1/04 ,  B08B 3/02 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 薄板の洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-251332   出願人：株式会社日立製作所
• 洗浄方法及び洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-070903   出願人：株式会社荏原製作所