特許

J-GLOBAL ID：200903038539033703

角形基板

発明者： 森谷 二郎 ,  渡辺 政孝 ,  岡崎 智
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-240028
公開番号（公開出願番号）：特開2003-051472
出願日： 2001年08月08日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：

【要約】【解決手段】 両面外周部にそれぞれテーパ面をなすエッジ部が外周端面の外周縁より1mm以内の幅で形成された角形基板であって、この基板の外周端面の外周縁から内方3mmの箇所より上記エッジ部内周縁までの間の外側領域において上記基板の両面又はいずれか一方の片面の平坦度が0.5μm以下であることを特徴とする角形基板。【効果】 本発明によれば、ガイドリングを分割し、その各々の箇所を基板内の研磨速度に応じて研磨布への押圧荷重を制御することによって、角形基板の外側領域の平坦度が0.5μm以下である角形基板を得ることができ、基板検査機の検出感度の安定性、再現性等及びステッパのアライメント精度を大幅に改善できる。

請求項（抜粋）：

両面外周部にそれぞれテーパ面をなすエッジ部が外周端面の外周縁より1mm以内の幅で形成された角形基板であって、この基板の外周端面の外周縁から内方3mmの箇所より上記エッジ部内周縁までの間の外側領域において上記基板の両面又はいずれか一方の片面の平坦度が0.5μm以下であることを特徴とする角形基板。

IPC (3件)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 37/00 ,  B24B 37/04

FI (3件)：

H01L 21/304 622 T ,  B24B 37/00 B ,  B24B 37/04 E

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭62-213960
  
• 特開昭61-030374
  
• ガラス板表面の筋状凹凸の除去方法および筋状凹凸を減じたガラス板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-019047   出願人：日本板硝子株式会社

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-213960
  
• 特開昭61-030374
  
• ガラス板表面の筋状凹凸の除去方法および筋状凹凸を減じたガラス板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-019047   出願人：日本板硝子株式会社