耐摩耗摺動用被膜及び同被膜形成部材

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河内潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-179131
公開番号（公開出願番号）：特開2006-002016
出願日： 2004年06月17日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：

【課題】高面圧下あるいは無潤滑環境下でも耐久する摺動表面を有する耐摩耗摺動用被膜及び耐摩耗摺動用被膜形成部材を提供。【解決手段】物理蒸着法で基材または基材と被膜から放出されるガスを利用して基材表面に直径が50μm以下の被膜表面に通じる微細気孔を、0.1 〜20%の面積率で有する被膜を形成することで、潤滑油剤の保持力が高く、高い耐摩耗性と耐焼き付き性を持つ耐摩耗摺動用被膜を得た。又、微細気孔を有する耐摩耗摺動用被膜の気孔内に潤滑剤を浸入させることで、無潤滑環境下でも高い耐久性を持つ耐摩耗摺動用被膜形成部材を得た。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

物理蒸着法で基材あるいは基材と被膜から放出されるガスを利用して、基材または被膜内部から被膜の表面に通じる微細気孔を有する多孔質のセラミックス被膜を被覆し、前記被膜内に直径が50μm以下の被膜表面に通じる微細気孔を、0.1 〜20%の面積率で有することを特徴とする耐摩耗摺動用被膜。

IPC (4件)：

C10M 103/06 , C10M 101/02 , C10M 103/00 , C23C 14/06

FI (7件)：

C10M103/06 Z , C10M103/06 A , C10M103/06 C , C10M103/06 E , C10M101/02 , C10M103/00 A , C23C14/06 A

Fターム (26件)：

4H104AA12A , 4H104AA13A , 4H104AA17A , 4H104AA20A , 4H104AA21A , 4H104AA26A , 4H104FA03 , 4H104FA04 , 4H104FA05 , 4H104FA06 , 4H104JA01 , 4H104LA03 , 4H104PA01 , 4H104QA12 , 4H104RA03 , 4K029AA02 , 4K029BA54 , 4K029BA55 , 4K029BA58 , 4K029BB00 , 4K029BB02 , 4K029BC02 , 4K029BD04 , 4K029CA06 , 4K029EA08 , 4K029FA07

引用特許：

出願人引用 (4件)

耐磨耗性コーティングを有する摺動部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-166440 出願人：株式会社ゼクセル
特許第3504930号公報
雑誌「Advanced Materials、Vol.15、No,19(2003)p.1610-1614」

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審査官引用 (6件)

摺動性に優れる硬質膜およびその被覆工具
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-249239 出願人：東芝タンガロイ株式会社
摺動材料及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-103763 出願人：株式会社リケン
ピストンリング
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-103762 出願人：株式会社リケン

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