特許

J-GLOBAL ID：200903038559375090

薬液濃度管理システム

発明者： 藤川 和宏 ,  松野 玄 ,  村田 明弘
出願人/特許権者： 関東化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-351101
公開番号（公開出願番号）：特開2004-186389
出願日： 2002年12月03日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：

【課題】薬液の寿命を延ばすとともに装置の停止を伴う薬液の交換が不要な薬液濃度管理システムを実現する。【解決手段】成分として有機酸を含有する水溶液を収納する薬液タンクと、この薬液タンク内の有機酸水溶液を測定する近赤外分光分析計から構成され、この近赤外分光分析計からの出力信号に基づいて前記水溶液中の有機酸の濃度を測定するように構成した。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

成分として有機酸を含有する水溶液を収納する薬液タンクと、この薬液タンク内の有機酸水溶液を測定する近赤外分光分析計から構成され、この近赤外分光分析計からの出力信号に基づいて前記水溶液中の有機酸の濃度を測定するように構成したことを特徴とする薬液濃度管理システム。

IPC (4件)：

H01L21/304 ,  G01N21/27 ,  G01N21/35 ,  H01L21/027

FI (4件)：

H01L21/304 648G ,  G01N21/27 F ,  G01N21/35 Z ,  H01L21/30 572B

Fターム (21件)：

2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059BB16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE11 ,  2G059EE12 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM12 ,  2G059NN01 ,  2G059NN02 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096LA03 ,  2H096LA30 ,  5F046MA02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 平面表示装置用基板または半導体素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-150115   出願人：株式会社東芝
• 多成分有機溶液の分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-244490   出願人：株式会社堀場製作所