特許

J-GLOBAL ID：200903038564316884

試料像観察方法とそれに用いる電子顕微鏡

発明者： 中澤 英子 ,  長沖 功
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-293636
公開番号（公開出願番号）：特開2006-032366
出願日： 2005年10月06日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

【課題】試料観察再開時での作業効率の向上が充分に図れるようにした電子顕微鏡を提供すること。【解決手段】電子銃制御装置11、照射レンズ制御装置12、対物レンズ制御装置13、拡大レンズ系制御装置14、それに試料ステージ制御装置15からなる観察条件設定装置を制御する制御装置18を設け、或る試料の画像データが指定されたとき、当該試料の観察条件データを呼出し、それに基づいて当該試料の画像データを保存したときと同じ観察条件が自動的に電子顕微鏡上に再現され、記憶された画像と同じ画像が忠実に再現されるようにしたもの。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡を操作して所定の観察条件を設定し、試料の拡大像を観察する電子顕微鏡を用いた試料像観察方法において、 電子顕微鏡を操作して電子顕微鏡の観察条件を設定し、 当該観察条件設定に基づいて得られる画像信号を、TIF形式に変換し、 当該TIF形式に変換した画像データのタグ領域に、当該画像データを取得したときの前記観察条件データを保存し、 前記画像データを読み出したときに、併せて前記タグ領域に保存された観察条件を読み出し、当該観察条件を設定することを特徴とする試料像観察方法。

IPC (2件)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/28

FI (2件)：

H01J37/22 502A ,  H01J37/28 B

Fターム (3件)：

5C033UU03 ,  5C033UU06 ,  5C033UU10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-092268   出願人：日本電子株式会社, 日本電子テクニクス株式会社
• 走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-171924   出願人：株式会社日立製作所